权益结算的股份支付在会计处理过程中，需要遵循以下步骤：
1. 授予日——除立即可行权的股份支付外，企业在授予日均不做会计处理。这意味着无论权益结算的股份支付还是现金结算的股份支付，企业在此阶段都不会进行会计处理。
2. 等待期的每个资产负债表日需要作处理：授予日至可行权日属于等待期。在这个阶段，企业应当将取得职工或其他方提供的服务计入成本费用，同时确认所有者权益。具体金额上，应当按照授予日权益工具的公允价值计入成本费用和资本公积(其他资本公积),不确认其后续公允价值变动。因此，借记管理费用/生产成本等(谁受益谁负担)，贷记资本公积—其他资本公积。这是因为以权益工具结算，行权人最终会成为企业的所有者，所以要计入所有者权益(资本公积—其他资本公积)。
3. 行权日：在这一阶段，借记银行存款、资本公积—其他资本公积，贷记股本、资本公积—股本溢价。这意味着行权人用其持有的权益工具换取了企业的普通股股票，从而成为企业的股东。
总之，权益结算的股份支付在会计处理过程中需要遵循以上三个步骤。在授予日，企业不需要进行会计处理；在等待期内的每个资产负债表日，企业需要将取得的服务计入成本费用并确认所有者权益；在行权日，行权人用其持有的权益工具换取普通股股票，成为企业的股东。