2025年6月4日，科创半导体设备ETF（588710.SH）收跌0.70%，主力资金（单笔成交额100万元以上）净流入2870.46万元，居可比基金第一。

　　与此同时，该基金最新成交量为2.44亿份，最新成交额达2.44亿元，居可比基金第一。